表面分析
紫外線光電子分光分析(UPS)による仕事関数測定
UPS法を用いて、半導体表面の仕事関数測定ができます。
仕事関数の評価から、半導体表面の電子(キャリア)移動度の議論が可能です。
仕事関数は固体表面から一つの電子を取り出すのに要する最小のエネルギーで、
図1において真空準位と最高被占分子軌道準位のエネルギー差に対応します。
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