ナノ物性及びナノ形状解析
薄膜の摩耗特性評価
ナノスケールで薄膜材料の摩耗特性がわかります。
ナノアブレージョン法の模式図
ナノアブレージョンの特徴として、
１）最表面（サブnm）における摩耗素過程の観察ができます。
２）脆弱または柔軟で小さな材料にも適用できます。
３）摩耗した後に様々な表面分析で追加調査ができます。
摩耗後の表面形状イメージ
耐摩耗性に優れたワイヤー、フィルムの開発や加工条件の検討、摩耗粉や異物発生の実証試験に活用できます。
薄膜の摩耗素過程の解析
摩耗の素過程をnmレベルで形状解析ができ、耐摩耗性を備えた材料の開発に有効です。
【画像をクリックすると拡大します。】
SiO2膜はSiOC膜よりも低荷重で摩耗粉の発生が認められました。
SiO2膜はSiOC膜よりも硬さが10倍ほど大きいことから、硬さが必ずしも耐摩耗性の評価指標にならないことが分かりました。
PDF形式 （1598KB）
左のアイコンをクリックすると、別ウインドウで開きます。
資料のダウンロードにはお客様情報の入力が必要となります。
日産アークは安全、環境、品質、新材料開発で蓄積された技術を皆様にご提供いたします。
当社技術営業部では、各分野の材料・分析の専門家が皆様のお問い合わせ、ご相談をお待ちしています。
現象解析から最先端の分析の相談まで、何なりとお申しつけ下さい。
