ナノ物性及びナノ形状解析
ナノインデンテーション法による薄膜の高温機械物性評価
日産アークでは温度制御下(-120℃〜500℃)におけるナノインデンテーション測定ができます。
・これまで困難であった高温での薄膜の力学特性評価が可能になりました。
・高温時の試験信頼性も確認できています。
温度制御計測の信頼性(シリカガラスの計測例)


Tg(1000℃)以下において力学物性に温度依存性を示さない溶融石英ガラスにより熱の影響(ドリフト等)を受けていないことを確認しています。
高分子材料の弾性率・硬さの温度依存性の評価例

130℃付近において硬さ・弾性率ともに急激に減少することがわかります。
材料の耐熱性の評価などに非常に有効です。