X線光電子分光分析（XPS）による多層膜試料の組成分析

XPSワイドキャンの深さ方向分析により、多層膜試料の各層の成分および厚さが評価可能です。
構成成分が未知な材料の組成分析に応用できます。

DLC膜の炭素状態分布（表面ドロップレットの分布）

DLC膜の炭素状態分布をコンフォーカルラマンマッピングにより可視化できます。