半導体のエネルギーバンド解析技術

紫外線光電子分光および反射型電子エネルギー損失分光により、エネルギーバンドの評価( ≦0.1eV )が可能です。
さらにX線光電子分光による分析により試料表面の元素情報を得ることができます。

半導体のエネルギーバンドの模式図

エネルギーバンド解析技術

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