独創的高温リアルタイム曲率測定法の紹介

熱負荷による薄膜の変形、破損、構造変化を評価するためにリアルタイム曲率測定法を開発しました。この方法では薄膜に生じる応力(内部応力)を測定だけでなく、薄膜の面内方向の熱膨張係数へ換算することが可能です。

測定サンプルを小さく(10mm角)することにより高精度で再現性の高い測定が可能です。試験温度範囲は室温~1000℃まで対応できます

リアルタイム曲率測定法

Ag膜での曲率測定結果

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