表面分析
X線光電子分光分析（XPS）による多層膜試料の組成分析
XPSワイドキャンの深さ方向分析により、多層膜試料の各層の成分および厚さが評価可能です。
構成成分が未知な材料の組成分析に応用できます。
XPSワイドスキャンおよびそのデプスプロファイルから、表面においてフッ化物および酸化物の多層膜形成および各層の膜厚が分かります。
測定前に元素情報がなくても、どのような化合物で試料表面が構成されているかを把握できます。
図1 光学試料のXPSデプスプロファイル
図2 XPS結果から見積もられる光学試料のコーティング層
表示厚さ：SiO2換算値
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