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物性測定/熱分析
基板上の薄膜応力測定

日産アークは薄膜の内部応力及び熱応力が測定出来ます。

・日産アークオリジナルのリアルタイム曲率測定法を開発
・小さな試験片(10mm角程度)での測定が可能

図1 測定原理

リアルタイム曲率測定法により、小さな試験片で高精度の測定が可能

図2 可熱時の内部応力(熱応力)の測定結果

加熱時の曲率を測定すると、熱応力が測定出来ます。

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