スペクトル超解像技術応用研究会にて講演を行います。

「スペクトル超解像によるXPSの定量下限向上を目指した基礎的検討事例」
発表者：古賀 遼
Siウェハ上の有機薄膜を事例にスペクトル超解像によるXPS測定のS/N向上効果の実証と微小部測定への応用可能性について発表します。

スペクトル超解像技術応用研究会
主催：公益財団法人 科学技術交流財団
日時：2026年02月18日（水）11:00-12:00
場所：オンライン