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X線透過像と蛍光X線による元素分布情報を同時に取得することが可能です。また、大型サンプルをそのまま分析でき、高輝度X線プローブで埋没した微小異物の高分解能分析が可能です。測定室の雰囲気制御によって、炭素、酸素などの検出も可能なため、有機物や腐食の判定にも利用できます。
X線分析顕微鏡の特長
透過X線像による非破壊観察と同時に、蛍光X線により元素分布情報を取得可能なX線分析顕微鏡を導入しました。
前処理不要で大きな試料を分析でき、高輝度なX線プローブによって、表面からは確認できない埋没した微小異物などの高分解能分析が可能です。また、測定室の雰囲気を制御することで、炭素や酸素の検出が可能なため、有機物や腐食の判定もできます。
・非破壊で元素をスクリーニング分析
・微小な指定部位をピンポイントで測定
・広範囲な元素分布を取得可能
・透過X線像の同時取得
前処理不要で大きな試料を分析でき、高輝度なX線プローブによって、表面からは確認できない埋没した微小異物などの高分解能分析が可能です。また、測定室の雰囲気を制御することで、炭素や酸素の検出が可能なため、有機物や腐食の判定もできます。
・非破壊で元素をスクリーニング分析
・微小な指定部位をピンポイントで測定
・広範囲な元素分布を取得可能
・透過X線像の同時取得
| 試料形態 | 電子基板、複合材、含油試料等 |
| 検出可能元素 | C (真空測定時) ～Am |
| 測定可能サイズ | 100mm×100mm |
| スポット径 | 15μm、1.2mm |
電子部品の透過観察および元素分布
透過X線像と元素分布を同時に取得することで、内部欠陥や異物を調査できます。
劣化グリス中の異物調査
X線分析顕微鏡では煩雑な前処理なしに混在物を調査できます。
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