2019年第66回応用物理学会春季学術講演会-3

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SiC-MOSFETのアニール処理によるパワーサイクル試験耐性の向上
発表者：鈴木達広（日産アーク）
2019.3.9-12　東京都　東京工業大学

マイクロX線顕微鏡 (XRM) での高分解能観察

新規導入装置_マイクロX線顕微鏡 (XRM) の紹介

新規導入装置 X線分析顕微鏡 (μ-XRF) の紹介

高感度EDX、高傾斜3Dトモグラフィー、クライオホルダ搭載の高感度TEM分析

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2019年 第66回応用物理学会春季学術講演会-3