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ナノインデンテーション法では、微小領域や薄膜の硬さ･弾性率の測定が可能です。
“硬さ”は外部から力を加えた時の材料のもつ抵抗力、“弾性率”は弾性変形のしにくさの物性値を表します。特に、硬さは全ての変形機構 (弾性･塑性･粘性) を含むため、より直感的な評価指標として品質管理などに有用です。
高精度測定 (最薄試料厚さ：50nm，位置指定精度：30nm) および
温度制御測定 (試料表面温度：-150℃～500℃，真空中) も可能です。
ナノインデンテーション法による硬さ･弾性率の測定
試料に対して極微小な荷重でダイヤモンド圧子を圧入･除荷した際の荷重と変位の挙動から、硬さ･弾性率を測定することが可能です。
ナノインデンテーション法の高精度測定事例
最薄試料厚さ50nm、位置指定精度30nmという高精度な測定が可能です。
ナノインデンテーション温度制御測定システムの概要
加熱冷却ステージ･環境制御チャンバーによる温度制御計測システムを開発しました。
-150℃～500℃の温度範囲 (真空中) におけるナノインデンテーションが可能です。
130℃付近において硬さ･弾性率ともに急激に減少することがわかります。
材料の耐熱性の評価などに非常に有効です。
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