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球形ナノインデンテーション法では、微小領域や薄膜の降伏応力･弾性率の測定が可能です。
“降伏応力”は材料が弾性限界を超えて塑性変形が始まる応力を表します。
降伏応力は加工性能の評価指標として、材料設計をする上で重要です。
また、弾性変形と塑性変形を分けて評価できるため、材料の変形挙動を理解する上でも有用です。
高精度測定 (最薄試料厚さ：20nm，位置指定精度：30nm) および
温度制御測定 (試料表面温度：-150℃～500℃，真空中) も可能です。
球形ナノインデンテーション法による降伏応力･弾性率の測定
圧入初期の弾性変形挙動から弾性率を、塑性変形の開始点から降伏応力を測定することが可能です。
球形ナノインデンテーション法の温度制御測定事例
フィルム化によりガラス転移温度が低下し、10℃以上で降伏応力が急激に低下することがわかります (※一般的なバルク材のガラス転移は約70℃) 。微小領域や薄膜における降伏応力･弾性率の温度依存性評価が可能です。
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