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類を見ない特殊計測で、性能･機能発現因子を見極めます
微小領域の力学物性評価
製品の破損や変形の要因解析には、微小部の力学特性を把握することが重要です。調査したい目的に応じ、様々なナノインデンテーション法をご提案します。
1) 鋭角圧子と球形圧子
使用するダイヤモンド圧子の形状によって、押し込む際の変形挙動が異なります。当社では一般的な鋭角圧子に加え、特殊な球形圧子を活用し、前者は硬さ･弾性率を、後者は降伏応力･弾性率の評価が可能です。
2) 微小部の硬さ･弾性率測定 (ナノインデンテーション法)
鋭角圧子の押し込みでは、弾性変形と塑性変形が同時に生じます。押し込み時の荷重と変位の関係から、硬さと弾性率を算出します。
3) 微小部の降伏点評価 (球形ナノインデンテーション法)
球形圧子の押し込みでは、圧入の初期は弾性変形のみが生じます。更に深く押し込むと弾性変形と共に塑性変形が生じ始め、塑性変形開始点から薄膜の降伏応力を算出します。球形ナノインデンテーション法では、微小な力学物性変化を把握することができます。
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