半導体デバイスのパワーサイクル試験と故障解析

自社開発装置により、正確なパワーサイクル試験を実施します

サンプル間の温度ばらつきを抑える

試験サンプルは、電気抵抗値や放熱抵抗値などのばらつきを含んでいるため、複数サンプルを同じ加熱電流で試験すると、各サンプルの最大温度Tjmaxがばらつき、同じストレス状態にすることができません。日産アークでは、各サンプルごとに加熱電流を自動調整することでばらつきをおさえ、複数サンプルを同時に試験した場合でも、最大温度Tjmaxを同じにしたパワーサイクル試験を行うことができます。

冷却カーブを使ったTjmaxの測定

パワーサイクル試験では、一般的に、ターンオフ直後 (100μsec前後) に微弱電流に切り替えてVFを計測し、その時の温度を決定しますが、ターンオフ直後の温度低下は速く、100μsec時点で約8℃程度の温度低下が生じることがあります。
日産アークでは、サイクル毎に冷却カーブを使ってターンオフ時点のTjmaxを外挿法で推定するため、測定誤差の低減が可能です。

試験評価後の故障解析

日産アークでは、研究開発から製造プロセス・市場における品質トラブルまで、“ものづくり”のあらゆる課題に対してエンジニアリングフェーズに応じた分析技術の活用推進に取り組んでいます。
お客様の声に耳を傾け、一緒に考え、各種分析をご提案します。

掲載資料をダウンロードできます。

PDF形式
左のアイコンをクリックすると、別ウインドウで開きます。

資料のダウンロードにはお客様情報の入力が必要となります。

×

分析についてのご相談などお気軽にお問い合わせください。